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更新时间：2016-12-16 点击量：1757
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的形成和特点,射频发生器产生高频功率,通过感应工作线圈在石英炬管外径形成高频磁场,石英炬管是三同心型,有三股氩气分别进进炬管,在常温下，氩气是不导电的，高频能量不会在气体中产生感应电流，因此也不会形成ICP火焰，当用Tesla线圈火花放电引燃时，这些电火花在高频磁场下碰撞氩气原子并使之电离,这一碰撞过程产生量热量，使氩原子形成正负相等的离子成为等离子体,向雪崩一样连续进行,这种氩原子碰撞电离产生的等离子体称之为ICP.*介绍.
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